24.4% industrial tunnel oxide passivated contact solar cells with ozone-gas oxidation Nano SiOx and tube PECVD prepared in-situ doped polysilicon

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标题	24.4% industrial tunnel oxide passivated contact solar cells with ozone-gas oxidation Nano SiOx and tube PECVD prepared in-situ doped polysilicon 相关领域等离子体增强化学气相沉积臭氧 X射线光电子能谱分析化学（期刊）钝化材料科学退火（玻璃）化学气相沉积辉光放电氧化物饱和电流化学等离子体化学工程纳米技术图层（电子）复合材料冶金电压有机化学电气工程工程类物理量子力学
网址	https://doi.org/10.1016/j.solmat.2022.111803
DOI	10.1016/j.solmat.2022.111803 doi
其它	期刊：Solar Energy Materials and Solar Cells 作者：Zunke Liu; Na Lin; Qingshan Zhang; Bin Yang; Lihua Xie; et al 出版日期：2022-05-19
求助人	meng 在 2025-09-27 16:13:30 发布自河北，悬赏 10 积分
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