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 Effect of Polymer Type Additives in Selective Wet Etching of Si1-XGex- to Si-Film to Enhance Etch Rate Selectivity 相关领域
选择性
蚀刻（微加工）
材料科学
腐蚀坑密度
聚合物
干法蚀刻
各向同性腐蚀
化学工程
分析化学（期刊）
纳米技术
化学
复合材料
有机化学
工程类
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图层（电子）
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期刊：ECS Meeting Abstracts 作者：Changjin Lee; Jieun Lee; Eun-Woo Jang; Ji‐Hoon Kim; Jinsub Park; et al 出版日期：2024-11-22 |
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