Improvement of oxide removal rate in chemical mechanical polishing by forming oxygen vacancy in ceria abrasives via ultraviolet irradiation

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标题	Improvement of oxide removal rate in chemical mechanical polishing by forming oxygen vacancy in ceria abrasives via ultraviolet irradiation 紫外辐射在氧化铈磨料中形成氧空位提高化学机械抛光中氧化物去除率相关领域 X射线光电子能谱材料科学泥浆化学机械平面化氧化物抛光辐照紫外线氧气化学工程冶金化学复合材料光电子学核物理学有机化学工程类物理
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.matchemphys.2021.124967
DOI	10.1016/j.matchemphys.2021.124967 doi
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