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 Thermal deformation variations with field positions on the wafer and resist types (CAR and MOR) 热变形随晶片上场位置和抗蚀剂类型（CAR和MOR）的变化
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期刊： 作者：Hee-Chang Ko; Minwoo Kim; Jiwon Kang; Hye-Keun Oh 出版日期：2023-11-21 |
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