Room-temperature deposition of low H-content SiNx/SiNxOy thin films using a specially designed PECVD system

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标题	Room-temperature deposition of low H-content SiNx/SiNxOy thin films using a specially designed PECVD system
网址	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2020.126506
DOI	10.1016/j.surfcoat.2020.126506 doi
其它	期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Wei Xu; Heli Tang; Qing-Yu Zhang; Nan Zhou; Yu Shen 出版日期：2020
求助人	难得在 2026-02-02 23:31:10 发布自中国，悬赏 10 积分
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