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 Influence of the argon ratio on the structure and properties of thin films prepared using PECVD in TMSAc/Ar mixtures 相关领域
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期刊：Vacuum 作者：Štěpánka Kelarová; Roman Přibyl; Vojtěch Homola; Josef Polčák; Anna Charvátová Campbell; et al 出版日期：2022-10-27 |
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