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Communication—Effect of Hydrogen Water on Ceria Abrasive Removal in Post-CMP Cleaning |
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期刊:ECS Journal of Solid State Science and Technology 作者:Seokjun Hong; Sang-Hyeon Park; Chaitanya Kanade; Jaewon Lee; Pengzhan Liu; et al 出版日期:2020-01-05 |
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