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 Evaluation of line-edge/line-width roughness of directed self-assembled PS-b-PMMA patterns using coarse-grained molecular dynamics simulation 用粗粒度分子动力学模拟评价定向自组装PS-b-PMMA图案的线边/线宽粗糙度
相关领域
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期刊： 作者：Shubham Pinge; Durairaj Baskaran; Yong Lak Joo 出版日期：2018-03-19 |
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