Effect of Strain Induced by Varying Bottom Electrode Thicknesses on Ferroelectric Properties of Pt/Al0.7Sc0.3N/Pt Capacitors

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标题	Effect of Strain Induced by Varying Bottom Electrode Thicknesses on Ferroelectric Properties of Pt/Al0.7Sc0.3N/Pt Capacitors
网址	https://pubs.acs.org/doi/pdf/10.1021/acsami.6c07798
DOI	10.1021/acsami.6c07798 doi
其它	期刊：ACS Applied Materials and Interfaces 作者：Yuan Fang; Xiaoxi Li; Jiawei Li; Haiwen Xu; C. Fang; et al 出版日期：2026-07-25
求助人	Sean 在 2026-08-24 16:48:08 发布自河北，悬赏 10 积分
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