Lithography hotspot correction on post-OPC layout using generative adversarial networks

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标题	Lithography hotspot correction on post-OPC layout using generative adversarial networks
网址	http://dx.doi.org/10.1117/1.jmm.25.3.031603
DOI	10.1117/1.jmm.25.3.031603 doi
其它	期刊：Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology 作者：Weilun Chiu; Fu-Tse Cheng; Tony Hu; Yi-Yen Tsai; Chung-Te Hsuan; et al 出版日期：2026-04-03
求助人	LW97 在 2026-07-01 11:30:32 发布自上海，悬赏 20 积分
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