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标题
专利、报告等 Exploring the use of Tungsten-based Hard Masks in BEOL interconnects for 3nm node and beyond
网址
https://imec-publications.be/entities/publication/92221557-7...
DOI
暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
其它 求助会议报告 PDF：Exploring the use of Tungsten‑based Hard Masks in BEOL interconnects for 3nm node and beyond
IMEC，AVS Symposium 2022，口头报告 slides，IMEC 库 ID：20.500.12860/40770。
求助人
冷酷的亦寒 在 2026-08-05 00:55:38 发布自广东，悬赏 10 积分
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  • 17天前，求助关闭

    科研通管家 科研通管家 机器人 关闭了本次求助。

    说明 求助超时（查看超时原因）自动关闭，请核实信息是否正确，如果确实需要，您可重新发布求助。【积分已退回】

  • 22天前

    冷酷的亦寒 冷酷的亦寒 Lv1 求助人 发起了本次求助

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