Diffraction-limited high-efficiency extreme ultraviolet metalens at 13.5 nm wavelength based on nanohole array in molybdenum membrane

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标题	Diffraction-limited high-efficiency extreme ultraviolet metalens at 13.5 nm wavelength based on nanohole array in molybdenum membrane
网址	https://www.spiedigitallibrary.org/journals/optical-engineer...
DOI	10.1117/1.oe.63.6.067105 doi
其它	期刊：Optical Engineering 作者：Shengchao Duan; Huiwen Xue; He Li; Changqing Xie; Lina Shi 出版日期：2024-06-26
求助人	dogestrong 在 2026-10-11 20:30:21 发布自江苏，悬赏 20 积分
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