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标题
[高分] Effect of Heat Budget After Capacitor Formation on the Leakage Current Characteristics of ZrO2-Based High-k Dielectrics for Next-Generation Dynamic Random-Access Memory Capacitors
网址
https://doi.org/10.1166/jnn.2020.17224
DOI
10.1166/jnn.2020.17224 doi
其它 期刊：Journal of Nanoscience and Nanotechnology
作者：Jong-Min Lee; Pyungho Choi; Jong-Beom Seo; Byoungdeog Choi
出版日期：2019-08-06
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生动孤萍 在 2026-11-06 18:36:51 发布自中国，悬赏 150 积分
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