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Towards Unparallelled CMOS-compatible Air-coupled pMUT Performance with 30% Sc-doped AlN through an Analysis of Residual Stress Effects
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DOI
10.1109/uffc-js60046.2024.10794013 doi
其它 期刊:2024 IEEE Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control Joint Symposium (UFFC-JS)
作者:Jihang Liu; Goh Duan Jian; Daniel Ssu-Han Chen; David Choong Sze Wai; Trivedi Shyam; et al
出版日期:2024-09-22
求助人
刘博远 在 2026-10-09 18:53:03 发布自黑龙江,悬赏 10 积分
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