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 A Digital Twin Framework With Deep Feature Extraction and Gaussian Process for Multi-Objective Optimization in Semiconductor Manufacturing 相关领域
半导体器件制造
高斯过程
计算机科学
过程（计算）
高斯分布
算法
趋同（经济学）
数学优化
特征（语言学）
特征提取
钥匙（锁）
缩小
碳化硅
机械加工
高斯滤波器
过程变量
最优化问题
过程控制
工程类
人工智能
吞吐量
设定值
迭代法
迭代和增量开发
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期刊：IEEE Transactions on Automation Science and Engineering 作者：Chin-Yi Lin; Tzu-Liang Tseng; Tsung-Han Tsai 出版日期：2026-01-01 |
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