发布文献求助
已完结
  • 文献求助详情
标题
Control of photoresist etch rate via a gradient magnetic field in biased inductively coupled plasma
相关领域
感应耦合等离子体 光刻胶 等离子体 分析化学（期刊） 化学 材料科学 纳米技术 环境化学 物理 核物理学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1088/1361-6595/adeebe
DOI
10.1088/1361-6595/adeebe doi
其它 期刊：Plasma Sources Science and Technology
作者：Yilang Jiang; Y. Jeong; J.W. Kim; Minseok Kim; Myoung-Jae Lee; et al
出版日期：2025-07-01
求助人
含糊的雨安 在 2026-04-03 18:29:56 发布自上海，悬赏 10 积分
下载 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
提交工单
该求助已完结，感谢关注
如需该文献，请重新发布求助，前往发布
在科研通，轻松享有文献下载的自由
请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
爆米花的应助被冷傲的元容采纳，获得10
刚刚
曦曦发布了新的文献求助10
刚刚
1秒前
丘比特的应助被小小怪下士采纳，获得10
1秒前
1秒前
华仔的应助被comz采纳，获得10
1秒前
清爽的诗云完成签到，获得积分10
1秒前
干亿先完成签到，获得积分10
2秒前
Rosieyu发布了新的文献求助10
2秒前
RUI完成签到 ，获得积分10
2秒前
隐形曼青的应助被27758采纳，获得10
3秒前
OvO_4577发布了新的文献求助10
3秒前
烟花的应助被科研通管家采纳，获得10
3秒前
酷波er的应助被科研通管家采纳，获得10
3秒前
3秒前
搜集达人的应助被科研通管家采纳，获得10
3秒前
隐形曼青的应助被科研通管家采纳，获得10
3秒前
3秒前
有魅力发卡完成签到，获得积分10
3秒前
天天快乐的应助被科研通管家采纳，获得10
3秒前
wanci的应助被科研通管家采纳，获得10
3秒前
丘比特的应助被科研通管家采纳，获得10
3秒前
苍狗发布了新的文献求助10
4秒前
dde的应助被科研通管家采纳，获得10
4秒前
4秒前
酷波er的应助被科研通管家采纳，获得10
4秒前
我是老大的应助被科研通管家采纳，获得10
4秒前
情怀的应助被科研通管家采纳，获得10
4秒前
小蘑菇的应助被科研通管家采纳，获得10
4秒前
在水一方的应助被科研通管家采纳，获得10
4秒前
CipherSage的应助被科研通管家采纳，获得10
4秒前
传奇3的应助被科研通管家采纳，获得10
4秒前
Owen的应助被科研通管家采纳，获得30
4秒前
Jasper的应助被科研通管家采纳，获得10
4秒前
思源的应助被科研通管家采纳，获得10
4秒前
所所的应助被科研通管家采纳，获得10
4秒前
5秒前
SciGPT的应助被科研通管家采纳，获得10
5秒前
完美世界的应助被科研通管家采纳，获得10
5秒前
Lucas的应助被科研通管家采纳，获得10
5秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Chemistry and Physics of Carbon Volume 18 800
The Organometallic Chemistry of the Transition Metals 800
Leading Academic-Practice Partnerships in Nursing and Healthcare: A Paradigm for Change 800
The formation of Australian attitudes towards China, 1918-1941 640
Signals, Systems, and Signal Processing 610
全相对论原子结构与含时波包动力学的理论研究--清华大学 500
热门求助领域 （近24小时）
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 物理 内科学 复合材料 催化作用 物理化学 光电子学 电极 细胞生物学 基因 无机化学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 6432814
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 8248442
关于积分的说明 17542716
捐赠科研通 5490195
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2896773
邀请新用户注册赠送积分活动 1873363
关于科研通互助平台的介绍 1713628
Copyright © 2020-2026 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通