Development of optical coatings for 157nm lithography (I:coating materials)

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标题	Development of optical coatings for 157nm lithography (I:coating materials)
网址	https://www.osapublishing.org/viewmedia.cfm?URI=OIC-2001-ThB...
DOI	10.1364/oic.2001.thb7 doi
其它	期刊：Optical Interference Coatings 作者：Shunsuke Niisaka; Tadahiko Saito; Jun Saito; Akira Tanaka; Akira Matsumoto; et al 出版日期：2015-01-07
求助人	Barry 在 2026-04-02 12:10:04 发布自江苏，悬赏 20 积分
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