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标题
Improving the dielectric properties of an electrowetting-on-dielectric microfluidic device with a low-pressure chemical vapor deposited Si3N4 dielectric layer
用低压化学气相沉积Si3N4电介质层改善电介质上电润湿微流体器件的介电性能
相关领域
电润湿 电介质 材料科学 微流控 图层（电子） 光电子学 化学气相沉积 纳米技术
网址
https://doi.org/10.1063/1.4915613
AI链接 europepmc.org europepmc.org nih.gov nih.govdoi.org
DOI
10.1063/1.4915613 doi
其它 期刊：Biomicrofluidics
作者：Hsien-Hua Shen; Lung-Yuan Chung; Da‐Jeng Yao
出版日期：2015-03-01
求助人
不加糖 在 2025-07-02 09:48:58 发布自北京，悬赏 10 积分
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