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 Improving the dielectric properties of an electrowetting-on-dielectric microfluidic device with a low-pressure chemical vapor deposited Si3N4 dielectric layer 用低压化学气相沉积Si3N4电介质层改善电介质上电润湿微流体器件的介电性能
相关领域
电润湿
电介质
材料科学
微流控
图层（电子）
光电子学
化学气相沉积
纳米技术
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| 其它 |
期刊：Biomicrofluidics 作者：Hsien-Hua Shen; Lung-Yuan Chung; Da‐Jeng Yao 出版日期：2015-03-01 |
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