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标题
Ab-initio molecular dynamics simulations of the reactivity of MoS2 towards F2 molecules: Implications for etching processes
MoS2对F2分子反应性的从头算分子动力学模拟：对蚀刻过程的影响
相关领域
解吸 双层 单层 反应性（心理学） 蚀刻（微加工） 化学 空位缺陷 分子 吸附 化学物理 氟 从头算 硫黄 图层（电子） 无机化学 物理化学 结晶学 有机化学 膜 医学 生物化学 替代医学 病理
网址
https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2022.154637
DOI
10.1016/j.apsusc.2022.154637 doi
其它 期刊：Applied Surface Science
作者：Lucas M. Farigliano; P. Paredes-Olivera; E.M. Patrito
出版日期：2022-08-31
求助人
Umar 在 2025-05-12 10:53:21 发布自福建，悬赏 10 积分
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