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 High Sensitivity Piezoelectric MEMS Microphones Based on AlN with Cavity-SOI 基于AlN腔SOI的高灵敏度压电MEMS麦克风
相关领域
微电子机械系统
话筒
材料科学
声学
灵敏度（控制系统）
压电
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绝缘体上的硅
悬臂梁
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期刊： 作者：Bohao Hu; Binghui Lin; Wenjuan Liu; Chengliang Sun 出版日期：2021-09-11 |
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