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 Atomic Precision Processing of Two-Dimensional Materials for Next-Generation Microelectronics 面向下一代微电子的二维材料的原子级精密加工
相关领域
微电子
原子层沉积
纳米技术
原子单位
计量学
材料科学
蚀刻（微加工）
工程物理
计算机科学
薄膜
工程类
图层（电子）
物理
量子力学
光学
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期刊：ACS Nano 作者：Jinkyoung Yoo; Chang‐Yong Nam; Ezra Bussmann 出版日期：2024-08-06 |
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