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Preparation of (100) oriented Sc-doped AlN film on flexible substrate under different pressures using RF reactive sputtering 相关领域
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期刊:International Journal of Materials Research (formerly Zeitschrift fuer Metallkunde) 作者:Yixi Yang; Xiaomei Li; Dong Zhou; Cheng‐Zen Yang; Fan Feng; et al 出版日期:2015-08-10 |
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