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[高分] Preparation of (100) oriented Sc-doped AlN film on flexible substrate under different pressures using RF reactive sputtering
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网址
DOI
10.3139/146.111287 doi
其它 期刊:International Journal of Materials Research (formerly Zeitschrift fuer Metallkunde)
作者:Yixi Yang; Xiaomei Li; Dong Zhou; Cheng‐Zen Yang; Fan Feng; et al
出版日期:2015-08-10
求助人
李旭 在 2025-10-21 16:17:40 发布自上海,悬赏 50 积分
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