Development of an in-situ cleaning system for an e-beam reticle writer

已关闭

文献求助详情

标题	Development of an in-situ cleaning system for an e-beam reticle writer 相关领域十字线过程（计算）栏（排版）工程类工程制图图层（电子）计算机科学工艺工程过程开发梁（结构）阴极射线环境科学开发（拓扑）污染窗口（计算）材料科学汽车工程激光束组分（热力学）
网址	https://doi.org/10.1117/12.277287
DOI	10.1117/12.277287 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Kenji Ohtoshi; Satoshi Yamasaki; Shuichi Tamamushi; Toru Tojo; Ryoichi Hirano; et al 出版日期：1997-07-28
求助人	狂野雁丝在 2025-11-04 21:22:39 发布自广东，悬赏 28 积分
下载
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

3小时前，求助关闭

狂野雁丝 Lv1 求助人关闭了本次求助。

说明已解决【积分已退回】
16小时前

科研通AI2.0 机器人未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

21:22:45 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

21:22:41 科研通AI机器人（美国洛杉矶）收到请求，开始寻找文献

21:22:39 已向机器人发送请求
16小时前

狂野雁丝 Lv1 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 浮游的应助被阿星采纳，获得10

1秒前; 科研通AI5上传了应助文件

1秒前; 科研阿白发布了新的文献求助10

1秒前; yyy完成签到，获得积分20

2秒前; 辛勤的绮琴完成签到，获得积分10

2秒前; 娃哈哈发布了新的文献求助10

3秒前; Tourist给我去你喵哒的求助进行了留言

3秒前; Aling发布了新的文献求助10

3秒前; 晴空发布了新的文献求助10

4秒前; 失眠的强炫发布了新的文献求助10

4秒前; 会工科魔法的社长完成签到，获得积分10

4秒前; Orange上传了应助文件

4秒前; 小欣发布了新的文献求助10

5秒前; 香蕉觅云的应助被张7采纳，获得10

7秒前; 刘芋叶发布了新的文献求助10

7秒前; 大气的杨完成签到，获得积分10

7秒前; 蓝易木完成签到，获得积分10

8秒前; 欢呼的鲂完成签到，获得积分10

8秒前; 科研阿白完成签到，获得积分10

8秒前; 励志发SCI完成签到，获得积分10

10秒前; Icy完成签到，获得积分10

11秒前; Youngen完成签到，获得积分10

11秒前; ReusField发布了新的文献求助10

11秒前; 小欣完成签到，获得积分10

12秒前; 天天开心完成签到，获得积分10

12秒前; Aling完成签到，获得积分10

13秒前; 失眠的强炫完成签到，获得积分20

14秒前; 晴空完成签到，获得积分10

14秒前; 科研通AI5上传了应助文件

14秒前; 高野发布了新的文献求助10

14秒前; Akim的应助被HHCC1006采纳，获得10

15秒前; 量子星尘发布了新的文献求助30

16秒前; 852的应助被本本采纳，获得10

17秒前; 上官若男的应助被尊敬的惠采纳，获得10

17秒前; 糖炒栗子发布了新的文献求助10

19秒前; OpalLi完成签到，获得积分10

19秒前; 马二点完成签到，获得积分10

19秒前; 浮游上传了应助文件

20秒前; 浮游上传了应助文件

21秒前; 烧饼拌糖完成签到，获得积分10

21秒前