Terahertz slow-wave scalable interconnect based on back-end-of-line (BEOL) in 40 nm CMOS

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标题	Terahertz slow-wave scalable interconnect based on back-end-of-line (BEOL) in 40 nm CMOS 基于40 nm CMOS中后端（BEOL）的太赫兹慢波可扩展互连相关领域互连生产线后端太赫兹辐射 CMOS芯片材料科学光电子学电子工程可扩展性地平面极高频率电气工程计算机科学工程类电信电介质天线（收音机）数据库
网址	https://doi.org/10.1063/5.0101363
DOI	10.1063/5.0101363 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Xinge Huang; Yizhu Shen; Sanming Hu 出版日期：2022-09-19
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