Simple and Rapid Fabrication Process of Porous Silicon Surface Using Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching

已完结

文献求助详情

标题	Simple and Rapid Fabrication Process of Porous Silicon Surface Using Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching 相关领域反应离子刻蚀蚀刻（微加工）材料科学感应耦合等离子体多孔硅钝化多孔性表面粗糙度制作硅深反应离子刻蚀沉积（地质）光电子学纳米技术复合材料等离子体图层（电子）古生物学病理物理生物替代医学医学量子力学沉积物
网址	https://doi.org/10.1109/jmems.2019.2952209
DOI	10.1109/jmems.2019.2952209 doi
其它	期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者：Takuo Sugaya; Dong Hyun Yoon; Hideya Yamazaki; K. Nakanishi; Takuya Sekiguchi; et al 出版日期：2019-11-22
求助人	积极的初南在 2025-10-27 21:37:39 发布自湖北，悬赏 10 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通的所有服务均免费，并承诺对个人用户永久免费！

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 和谐续完成签到，获得积分10

1秒前; Yuki完成签到，获得积分10

1秒前; 脑洞疼的应助被ljh采纳，获得10

1秒前; 桐桐的应助被贪玩小蘑菇采纳，获得30

3秒前; 平常的羊完成签到，获得积分10

4秒前; 奶油水滴完成签到，获得积分10

5秒前; 爱撒娇的紫菜完成签到，获得积分10

5秒前; yetong完成签到，获得积分10

5秒前; 蔡毛线发布了新的文献求助10

5秒前; 诚心爆米花完成签到，获得积分10

6秒前; 自由橘子完成签到，获得积分10

6秒前; yicxueelisa发布了新的文献求助20

6秒前; cnuwxc完成签到，获得积分10

6秒前; 脑洞疼上传了应助文件

7秒前; 科研通AI5的应助被苏筱东采纳，获得10

8秒前; 无花果的应助被爱撒娇的紫菜采纳，获得10

8秒前; 核桃上传了应助文件

9秒前; yuntong完成签到，获得积分0

9秒前; 为你钟情完成签到，获得积分10

9秒前; 冷酷飞飞完成签到，获得积分10

9秒前; zhaoxi完成签到，获得积分10

9秒前; 微笑的手机完成签到，获得积分10

10秒前; 一一完成签到，获得积分10

10秒前; ljh完成签到，获得积分10

10秒前; 简让完成签到，获得积分10

10秒前; joker完成签到，获得积分0

11秒前; 唐泽雪穗上传了应助文件

12秒前; ljh发布了新的文献求助10

13秒前; 爆米花的应助被包包采纳，获得10

13秒前; 陈锦鲤完成签到，获得积分10

13秒前; 123完成签到，获得积分10

13秒前; qqq完成签到，获得积分10

13秒前; 潇潇完成签到，获得积分10

15秒前; 一号小玩家完成签到，获得积分10

16秒前; Fiona完成签到，获得积分10

16秒前; 积极一德完成签到，获得积分10

17秒前; zzzy完成签到，获得积分10

17秒前; 张嘉雯完成签到，获得积分10

17秒前; Mae完成签到，获得积分10

17秒前; 边伯贤完成签到，获得积分10

17秒前

高分求助中: (应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000; Einführung in die Rechtsphilosophie und Rechtstheorie der Gegenwart 1500; Binary Alloy Phase Diagrams, 2nd Edition 1000; 青少年心理适应性量表(APAS)使用手册 700; Air Transportation A Global Management Perspective 9th Edition 700; Socialization In The Context Of The Family: Parent-Child Interaction 600; DESIGN GUIDE FOR SHIPBOARD AIRBORNE NOISE CONTROL 600

热门求助领域（近24小时）

热门帖子: 关注科研通微信公众号，转发送积分 4994041; 求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4241739; 关于积分的说明 13214875; 捐赠科研通 4037121; 什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2208978; 邀请新用户注册赠送积分活动 1219797; 关于科研通互助平台的介绍 1138212

今日热心研友

注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10