| 标题 |
 Effects of the Applied Power of Remote Plasma System With Green Alternative Chamber Cleaning Gas of Carbonyl Fluoride 远距离等离子体系统外加功率对羰基氟绿色替代室净化气体的影响
相关领域
氟化物
等离子体
废物管理
化学
工艺工程
材料科学
环境科学
工程类
物理
无机化学
核物理学
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 作者：Se Yun Jo; A. ‐H. A. Park; Sang Jeen Hong 出版日期：2025-01-01 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
Criminology34
Yyyyyyyyy
GingerF
克克
无极微光
最爱巧克力和抹茶
vin
贪玩的秋柔
昏睡的丹琴
YifanWang
灰雁
张欢馨
斯文的白玉
缓慢怜菡
caibaozi
zzzz
核桃
OsamaKareem
账户已注销
Moonpie
皖公网安备34019202002308
