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Deposition of uniform films on complex 3D objects by atomic layer deposition for plasma etch resistant coatings
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网址
https://doi.org/10.1093/nsr/nwaf247
DOI
10.1093/nsr/nwaf247 doi
其它 期刊：National Science Review
作者：Xin Li Han; Yixian Wang; Ye Tian; Yafeng Wang; Lipei Peng; et al
出版日期：2025-06-17
求助人
yzm 在 2025-10-31 20:44:45 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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