Zinc-based metal oxoclusters: towards enhanced EUV absorptivity

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标题	Zinc-based metal oxoclusters: towards enhanced EUV absorptivity 锌基金属氧团簇：增强极紫外吸收率相关领域极紫外光刻抵抗材料科学平版印刷术纳米技术锌光电子学图层（电子）冶金
网址	https://doi.org/10.1117/12.2514814 AI链接 lib4ri.ch lib4ri.ch arcnl.nl arcnl.nldoi.org
DOI	10.1117/12.2514814 doi
其它	期刊：作者：Neha Thakur; Michaela Vockenhuber; Yasin Ekinci; Sonia Castellanos Ortega 出版日期：2019-03-26
求助人	拼搏的万言在 2025-09-16 20:29:50 发布自北京，悬赏 20 积分
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