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 MEMS piezo-resistive force sensor based on DC sputtering deposited amorphous carbon films 基于直流溅镀无定形碳薄膜的微机电压阻力传感器
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期刊：Sensors and Actuators A Physical 作者：Xin Ma; Xiaoshan Tong; Peng Guo; Yulong Zhao; Qi Zhang; et al 出版日期：2019-11-02 |
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