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标题
Energy distribution function of substrate incident negative ions in magnetron sputtering of metal-doped ZnO target measured by magnetized retarding field energy analyzer
磁化延迟场能量分析仪测量金属掺杂ZnO靶磁控溅射中衬底入射负离子的能量分布函数
相关领域
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网址
https://doi.org/10.35848/1347-4065/acddf0
AI链接 iop.orgdoi.org
DOI
10.35848/1347-4065/acddf0 doi
其它 期刊：Japanese Journal of Applied Physics
作者：Yoshinobu Matsuda; Koki Watanabe; Shoma Uzunoe; Tomohiro Furusato
出版日期：2023-06-13
求助人
可爱的函函 在 2025-08-25 08:15:31 发布，悬赏 10 积分
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