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  Energy distribution function of substrate incident negative ions in magnetron sputtering of metal-doped ZnO target measured by magnetized retarding field energy analyzer 磁化延迟场能量分析仪测量金属掺杂ZnO靶磁控溅射中衬底入射负离子的能量分布函数
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Yoshinobu Matsuda; Koki Watanabe; Shoma Uzunoe; Tomohiro Furusato 出版日期：2023-06-13 |
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