Prevention and characterization of thin film defects induced by contaminant aggregates in initiated chemical vapor deposition

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标题	Prevention and characterization of thin film defects induced by contaminant aggregates in initiated chemical vapor deposition 化学气相沉积中污染物聚集引起的薄膜缺陷及其表征相关领域结晶度材料科学层状结构化学气相沉积聚合物 X射线光电子能谱薄膜扫描电子显微镜聚合化学工程低聚物椭圆偏振法纳米技术复合材料高分子化学工程类
网址	http://dx.doi.org/10.1063/5.0195014
DOI	10.1063/5.0195014 doi
求助人	透明人在 2024-04-25 11:01:15 发布自四川，悬赏 10 积分
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