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标题
Fabrication of arrays of tapered silicon micro-/nano-pillars by metal-assisted chemical etching and anisotropic wet etching
金属辅助化学刻蚀和各向异性湿法刻蚀制备锥形硅微/纳米柱阵列
相关领域
材料科学 逐渐变细 各向同性腐蚀 制作 硅 干法蚀刻 薄脆饼 蚀刻（微加工） 氢氧化钾 各向异性 反应离子刻蚀 复合材料 雕刻 纳米技术 光电子学 光学 计算机图形学（图像） 物理 病理 有机化学 化学 计算机科学 替代医学 图层（电子） 医学
网址
https://doi.org/10.1088/1361-6528/aac04b
AI链接 nih.govdoi.org
DOI
10.1088/1361-6528/aac04b doi
其它 期刊：Nanotechnology
作者：Kazutoyo Yamada; Mitsuhiko Yamada; Hideyuki Maki; Kazuyoshi Itoh
出版日期：2018-05-11
求助人
养条狗吧 在 2024-01-31 09:26:10 发布自福建，悬赏 10 积分
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