| 标题 |  Performance Improvement of Integrated MEMS Temperature, Humidity, and Air Velocity Sensors for Application in Smart Buildings 用于智能建筑的集成MEMS温度、湿度和风速传感器的性能改进 相关领域 
                                                                                                                                    
                                                                        
                                                                            空气温度                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            空气流速                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            灵敏度(控制系统)                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            湿度                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            相对湿度                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            大气温度范围                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            微电子机械系统                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            度量(数据仓库)                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            温度测量                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            炸薯条                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            机械工程                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            电气工程                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            汽车工程                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            模拟                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            计算机科学                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            材料科学                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            工程类                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
                                                                            电子工程                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
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                                                                            物理                                                                        
                                                                    
                                                                                                                                        
                                                                        
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| 其它 | 期刊:IEEE Transactions on Electron Devices 作者:Izhar Izhar; Xu Zhao; Hadi Tavakkoli; Wei Xu; Yi-Kuen Lee 出版日期:2024-01-24 | 
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