130 kV High-Resolution Electron Beam Lithography System for Sub-10-nm Nanofabrication - 科研通

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标题	130 kV High-Resolution Electron Beam Lithography System for Sub-10-nm Nanofabrication
网址	http://dx.doi.org/10.7567/jjap.52.06gb01
DOI	10.7567/jjap.52.06gb01 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Teruaki Okino; Yukio Kuba; Masahiro Shibata; Hideyuki Ohyi 出版日期：2013-06-01
求助人	Lazzaro 在 2026-09-07 14:06:57 发布自北京，悬赏 10 积分
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