Evaluation results of a new EUV reticle pod having reticle grounding paths

已完结

文献求助详情

标题	Evaluation results of a new EUV reticle pod having reticle grounding paths
网址	https://doi.org/10.1117/12.879553
DOI	10.1117/12.879553 doi
其它	期刊：SPIE Proceedings 作者：Kazuya Ota; Masami Yonekawa; Mitsuaki Amemiya; Takao Taguchi; Osamu Suga 出版日期：2011-04-01
求助人	霜刃在 2026-08-25 15:50:14 发布自广东，悬赏 20 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，让源源不断科研创作灵感的涌现之地

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 样样发布了新的文献求助10

刚刚; 诚心荟完成签到，获得积分10

刚刚; 所所的应助被谁能阻挡采纳，获得30

3秒前; 在水一方上传了应助文件

7秒前; machadosl完成签到，获得积分10

10秒前; 谁能阻挡发布了新的文献求助50

12秒前; Cheffe完成签到，获得积分10

13秒前; 所所的应助被dxdxxd采纳，获得10

14秒前; 传奇3的应助被陶醉的烤鸡采纳，获得80

18秒前; 所所上传了应助文件

28秒前; 传奇3上传了应助文件

28秒前; 陶醉的烤鸡发布了新的文献求助80

33秒前; 谁能阻挡发布了新的文献求助30

34秒前; 所所上传了应助文件

36秒前; Lucas上传了应助文件

39秒前; dxdxxd发布了新的文献求助10

42秒前; www完成签到，获得积分10

42秒前; 嘟嘟杜完成签到，获得积分10

43秒前; 自由归尘发布了新的文献求助10

43秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

48秒前; 科研通AI6.2上传了应助文件

53秒前; 慕青上传了应助文件

56秒前; 谁能阻挡发布了新的文献求助10

59秒前; 自由归尘完成签到，获得积分10

1分钟前; 虚幻玉米发布了新的文献求助10

1分钟前; Kao上传了应助文件

1分钟前; 打打的应助被MeiyanZou采纳，获得30

1分钟前; 共享精神的应助被ssmffryjj888采纳，获得10

1分钟前; 小呵点完成签到，获得积分10

1分钟前; YWD发布了新的文献求助10

1分钟前; 谁能阻挡发布了新的文献求助30

1分钟前; 苗条的奇异果完成签到，获得积分10

1分钟前; Kao上传了应助文件

1分钟前; 科研通AI6.4上传了应助文件

1分钟前; 虚幻玉米完成签到，获得积分10

1分钟前; 共享精神上传了应助文件

1分钟前; ssmffryjj888发布了新的文献求助10

1分钟前; crystal完成签到，获得积分10

1分钟前; 橙色小瓶子完成签到，获得积分0

1分钟前; bkagyin的应助被Colden采纳，获得10

1分钟前