Deposition of diamond/β-SiC gradient composite films by microwave plasma-assisted chemical vapor deposition

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标题	Deposition of diamond/β-SiC gradient composite films by microwave plasma-assisted chemical vapor deposition
网址	https://www.cambridge.org/core/services/aop-cambridge-core/c...
DOI	10.1557/jmr.2002.0184 doi
其它	期刊：Journal of Materials Research 作者：Yulong Shi; M. Tan; X. Jiang 出版日期：2002-06-01
求助人	ljj 在 2026-08-24 10:24:39 发布自上海，悬赏 10 积分
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