Chemically controlled megasonic cleaning of patterned structures using solutions with dissolved gas and surfactant

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标题	Chemically controlled megasonic cleaning of patterned structures using solutions with dissolved gas and surfactant
网址	https://doi.org/10.1016/j.ultsonch.2021.105859
DOI	10.1016/j.ultsonch.2021.105859 doi
其它	期刊：Ultrasonics Sonochemistry 作者：Bichitra Nanda Sahoo; Soyoung Han; Hyun-Tae Kim; Keita Ando; Tae‐Gon Kim; et al 出版日期：2021-12-03
求助人	单纯的不乐在 2026-07-24 10:18:32 发布自江苏，悬赏 10 积分
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