| 标题 |
XPS study on the selective wet etching mechanism of GeSbTe phase change thin films with tetramethylammonium hydroxide |
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| DOI |
10.1117/12.2014922
doi
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| 其它 |
期刊:Proceedings of SPIE 作者:Changmeng Deng; Yongyou Geng; Yiqun Wu 出版日期:2013-01-24 |
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(2025-6-4)