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 Mode-Split MEMS Gyroscopes Under Bending Stress: Detection Mode Coupling and the Relation to Cross-Axis Sensitivity 相关领域
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期刊：IEEE Sensors Letters 作者：Wolfram Mayer; Burkhard Kuhlmann; Andrea Guerrieri; Tobias Hiller; Andre Zimmermann 出版日期：2025-02-01 |
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(2025-6-4)
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