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 基于暗场散射的无图案晶圆表面缺陷检测仿真研究 |
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| 其它 | 摘要：暗场散射检测是无图案晶圆检测的主要方式之一.入射光形态和散射光收集系统会直接影响系统的检测性能,因此进行缺陷散射场和光路系统的仿真分析是系统设计的基础.以时域有限差分法(Finite-Difference Time-Domain,FDTD)建立了基于暗场散射的无图案晶圆表面缺陷检测仿真系统,其中包括光滑晶圆表面颗粒散射仿真,晶圆表面粗糙度散射仿真和收集光路系统性能仿真.分析了不同激光入射角、偏振态及缺陷尺寸下的散射场特性,探究了光斑直径与检测极限的对应关系,并根据散射特性进行了光路系统的设计与仿真.依据仿真结果设计的光路系统平均收集效率为 77.65%,具有结构紧凑、收集效率高的特点,为无图案晶圆表面缺陷检测提供参考依据. |
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