Impact of PFIB Gas Assisted Delayering on MOSFET Degradation

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标题	Impact of PFIB Gas Assisted Delayering on MOSFET Degradation 相关领域材料科学抛光聚焦离子束 MOSFET 互连光电子学电介质晶体管梁（结构）降级（电信）电子工程离子计算机科学复合材料电气工程光学化学工程类电压计算机网络物理有机化学
网址	https://doi.org/10.31399/asm.cp.istfa2022p0284
DOI	10.31399/asm.cp.istfa2022p0284 doi
其它	期刊：Proceedings 作者：Zvika Sapir; Oksana Dimnich; Avraham Raz 出版日期：2022-10-26
求助人	888 在 2025-11-26 11:10:22 发布自河南，悬赏 10 积分
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