Process optimization of titanium self-aligned silicide formation through evaluation of sheet resistance by design of experiment methodology

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标题	Process optimization of titanium self-aligned silicide formation through evaluation of sheet resistance by design of experiment methodology
网址	https://doi.org/10.1016/j.sse.2024.108879
DOI	10.1016/j.sse.2024.108879 doi
其它	期刊：Solid-State Electronics 作者：In-Chi Gau; Yao-Wen Chang; Giin-Shan Chen; Yi-Lung Cheng; Jau-Shiung Fang 出版日期：2024
求助人	学术渣渣在 2026-01-20 21:30:34 发布自福建，悬赏 10 积分
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