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 Effect of IGZO thin films fabricated by Pulsed-DC and RF sputtering on TFT characteristics 脉冲直流和射频溅射制备IGZO薄膜对TFT特性的影响
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期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Jaemin Kim; Jinsu Park; Geonju Yoon; Agrawal Khushabu; Jinseok Kim; et al 出版日期：2020-07-10 |
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