Modeling and designing a new gas injection diffusion system for metalorganic chemical vapor deposition

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标题	Modeling and designing a new gas injection diffusion system for metalorganic chemical vapor deposition
网址	http://link.springer.com/article/10.1007/s00231-017-2110-8/f...
DOI	10.1007/s00231-017-2110-8 doi
其它	期刊：Heat and Mass Transfer 作者：C. C. Liao; S. S. Hsiau; T. C. Chuang 出版日期：2017-07-21
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