Improved comb drive design for MEMS piston mirror arrays

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标题	Improved comb drive design for MEMS piston mirror arrays MEMS活塞镜阵列的改进梳状驱动设计相关领域执行机构微电子机械系统活塞（光学）平版印刷术梳状致动器计算机科学全息术汽车工业全息显示器机械工程电子工程材料科学工程类波前光学航空航天工程光电子学物理人工智能病理制作医学替代医学
网址	https://doi.org/10.1117/12.2649743
DOI	10.1117/12.2649743 doi
其它	期刊：作者：M. Nitzsche; Peter Duerr; Andreas Neudert 出版日期：2023-03-15
求助人	大龙在 2025-12-12 18:19:29 发布自广东，悬赏 20 积分
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