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Unveiling strain in future generation transistor technology by Bessel beam electron diffraction method 用贝塞尔束电子衍射法揭示下一代晶体管技术中的应变
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期刊:Microelectronic Engineering 作者:Paola Favia; G. Eneman; A. Veloso; Ankit Nalin Mehta; Gerardo Martínez; et al 出版日期:2025-03-10 |
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