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 High-density plasma-induced etch damage of wafer-bonded AlGaInP/mirror/Si light-emitting diodes 相关领域
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Dong‐Sing Wuu; Ray‐Hua Horng; Shaohua Huang; Cheng-Yu Chung 出版日期：2002-05-01 |
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