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Characterization of stress-controlled a-IGZO thin films and their applications to thin-film transistor and micro-electromechanical system processes
应力控制a-IGZO薄膜的表征及其在薄膜晶体管和微机电系统工艺中的应用
相关领域
材料科学
残余应力
薄膜晶体管
薄膜
无定形固体
溅射沉积
溅射
光电子学
微电子机械系统
扫描电子显微镜
压力（语言学）
复合材料
电子工程
纳米技术
图层（电子）
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语言学
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期刊：International Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices 作者：Shinnosuke Iwamatsu; Kazushige Takechi; Yutaka Abe; Toru Yahagi; Hiroshi Tanabe; et al 出版日期：2013-07-02 |
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