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 Measurement sensitivity of DUV scatterfield microscopy parameterized with partial coherence for duty ratio-varied periodic nanofeatures 用部分相干参数化的DUV散射场显微镜对占空比变化的周期性纳米特征的测量灵敏度
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期刊：Optics and Lasers in Engineering 作者：Eikhyun Cho; Taekyung Kim; Yoon Sung Bae; Sang-Soo Choi; Brian M. Barnes; et al 出版日期：2022-02-01 |
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