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![]() 金属化对熔硅双壳陀螺仪品质因子和噪音特性的影响
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期刊:Journal of Microelectromechanical Systems 作者:Danmeng Wang; Mohammad H. Asadian; Wei Guan; Doreen Hii; Austin Parrish; et al 出版日期:2022-08-31 |
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